光學(xué)冷熱臺(tái)主要使用于半導(dǎo)體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試，廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精細(xì)電氣測(cè)量的研發(fā)，旨在確保質(zhì)量及可靠性，并縮減研發(fā)工夫和器件制造工藝成本。
 

　　下面小編要與大家分享的是光學(xué)冷熱臺(tái)各組成部件所起到的作用：
 

　　1、樣品臺(tái)(載物臺(tái))：是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會(huì)依據(jù)晶圓的尺寸來(lái)設(shè)計(jì)大小，并配套了相應(yīng)的精細(xì)挪動(dòng)定位功用。
 

　　2、光學(xué)元件：這個(gè)部件的作用使得用戶(hù)可以從視覺(jué)上縮小察看待測(cè)物，以便準(zhǔn)確地將探針對(duì)準(zhǔn)并放置在待測(cè)晶圓/芯片的測(cè)量點(diǎn)上。有的采用平面變焦顯微鏡，有的采用數(shù)碼相機(jī)，或許兩者兼有。
 

　　3、探針(探針卡)：待測(cè)芯片需求測(cè)試探針的銜接，才干與測(cè)試儀器樹(shù)立銜接。罕見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等。探針頭拔出單個(gè)探針臂并裝置在操縱器上。探針尺寸和資料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類(lèi)型。探針尖直接接觸被測(cè)件，探針臂應(yīng)與探針尖婚配。
 

　　4、射頻探針：射頻探針的實(shí)質(zhì)為適配器，將芯片測(cè)量接口轉(zhuǎn)為同軸或波導(dǎo)端口。罕見(jiàn)的射頻探針有GSG型、GS型、GSSG型等。射頻探針的主要參數(shù)有高工作頻率、探針針尖距(Pitch)等。目前，同軸接口的射頻探針頻率可達(dá)110GHz(MPI目前適配安利的擴(kuò)頻模塊可到220G)波導(dǎo)接口的射頻探針頻率高達(dá)1.1THz，有一些型號(hào)的探針可以選配BiasTee。
 

　　5、校準(zhǔn)：微波射頻在片測(cè)試的校準(zhǔn)次要是指S參數(shù)校準(zhǔn)，可以經(jīng)過(guò)運(yùn)用校準(zhǔn)片完成校準(zhǔn)。普通的校準(zhǔn)片提供開(kāi)路(Open)、短路(Short)、婚配(Match)、直通(Through)和延遲線(Line)標(biāo)準(zhǔn)件，可完成TOSM校準(zhǔn)或TRL校準(zhǔn)或SOLT或SOLR或LRM等。
 

　　6、操縱器(定位器)：探針臺(tái)運(yùn)用操縱器將探針?lè)胖迷诒粶y(cè)物上，它可以很容易地定位探針并疾速固定它們。通常運(yùn)用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)牡匚弧Ｒ坏┕潭ǎ倏v器可以在X、Y和Z方向上精確定位探針，并且在某些狀況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
 

　　7、網(wǎng)絡(luò)分析儀：雖然傳統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)分析儀也能無(wú)效地測(cè)量有源器件，例如放大器、混頻器和轉(zhuǎn)換器，但它們不能提供以后研發(fā)和消費(fèi)工程師所盼望的精度、易用性和速度。而這些功用關(guān)于無(wú)線通信行業(yè)來(lái)說(shuō)至關(guān)重要—在這些行業(yè)中，產(chǎn)品速度往往可以決議一家公司的成敗。